|
|
Main menu for Browse IS/STAG
Course info
KFY / FCPT
:
Course description
Department/Unit / Abbreviation
|
KFY
/
FCPT
|
Academic Year
|
2023/2024
|
Academic Year
|
2023/2024
|
Title
|
Fundamentals of Plasma Technologies
|
Form of course completion
|
Exam
|
Form of course completion
|
Exam
|
Accredited / Credits
|
Yes,
6
Cred.
|
Type of completion
|
Combined
|
Type of completion
|
Combined
|
Time requirements
|
Lecture
3
[Hours/Week]
Tutorial
2
[Hours/Week]
|
Course credit prior to examination
|
Yes
|
Course credit prior to examination
|
Yes
|
Automatic acceptance of credit before examination
|
No
|
Included in study average
|
YES
|
Language of instruction
|
Czech
|
Occ/max
|
|
|
|
Automatic acceptance of credit before examination
|
No
|
Summer semester
|
1 / -
|
0 / -
|
0 / -
|
Included in study average
|
YES
|
Winter semester
|
0 / -
|
0 / -
|
0 / -
|
Repeated registration
|
NO
|
Repeated registration
|
NO
|
Timetable
|
Yes
|
Semester taught
|
Summer semester
|
Semester taught
|
Summer semester
|
Minimum (B + C) students
|
10
|
Optional course |
Yes
|
Optional course
|
Yes
|
Language of instruction
|
Czech
|
Internship duration
|
0
|
No. of hours of on-premise lessons |
|
Evaluation scale |
1|2|3|4 |
Periodicity |
každý rok
|
Evaluation scale for credit before examination |
S|N |
Periodicita upřesnění |
|
Fundamental theoretical course |
Yes
|
Fundamental course |
No
|
Fundamental theoretical course |
Yes
|
Evaluation scale |
1|2|3|4 |
Evaluation scale for credit before examination |
S|N |
Substituted course
|
None
|
Preclusive courses
|
N/A
|
Prerequisite courses
|
N/A
|
Informally recommended courses
|
N/A
|
Courses depending on this Course
|
KFY/FPA
|
Histogram of students' grades over the years:
Graphic PNG
,
XLS
|
Course objectives:
|
To introduce selected physical phenomena and laws that control discharge ignition and structure, plasma-solid surface interactions and chemical reactions: their primary physical meaning, consequences, and actual implementation through the mathematical relationships (combination with theoretical tutorials). To give theoretical background for the studies of special disciplines using plasma technologies.
|
Requirements on student
|
Credit-theoretical tutorials: class test.
Examination: knowledge of the theory from the lectures and problems from the tutorials.
|
Content
|
Basic discharge theory (Langevin equation, DC- and AC-generated plasma). Breakdown of a gas and ignition of a discharge (Townsed discharge theory, Paschen law, discharge ignition in AC field). Concepts of glow and arc discharges. DC glow discharges (typical structure, cathode fall region). RF discharges (rf electrode bias, Koenig-Maissel model, substitute circuit). Interaction of plasma with solid surface (ion-surface interactions, secondary electrons emission). Chemical reaction in plasma and on solid surfaces (enthalpy of chemical reactions, system entropy, Gibbs potential, chemical equilibrium, Guldberg-Waage law, chemical equilibrium constant, processes on solid surfaces and their kinetics).
|
Activities
|
|
Fields of study
|
Studenti mají k dispozici skripta v elektronické podobě zpracovaná podle přednášek.
|
Guarantors and lecturers
|
|
Literature
|
-
Basic:
Vlček, J. Fyzikálně-chemické základy plazmových technologií.
-
Recommended:
Chapman, Brian. Glow discharge processes : sputtering and plasma etching. New York : John Wiley & Sons, 1980. ISBN 0-471-07828-X.
-
Recommended:
Cuomo, J. J.; Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D. Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions. Park Ridge : Noyes Publications, 1990. ISBN 0-8155-1220-1.
-
Recommended:
Konuma, Mitsuharu. Plasma techniques for film deposition. Harrow : Alpha Science International Ltd., 2005. ISBN 1-84265-151-X.
-
Recommended:
Lieberman, Michael A.; Lichtenberg, Allan J. Principles of plasma discharges and materials processing. c. 1994. New York : John Wiley & Sons, 1994. ISBN 0-471-00577-0.
-
Recommended:
Wiley-Interscience Publication,. New York, 1994.
-
On-line library catalogues
|
Time requirements
|
All forms of study
|
Activities
|
Time requirements for activity [h]
|
Contact hours
|
65
|
Preparation for comprehensive test (10-40)
|
35
|
Preparation for an examination (30-60)
|
60
|
Total
|
160
|
|
Prerequisites
|
Knowledge - students are expected to possess the following knowledge before the course commences to finish it successfully: |
vyjmenovat a popsat základní fyzikální veličiny z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
formulovat nejdůležitější vztahy z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
definovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti |
Skills - students are expected to possess the following skills before the course commences to finish it successfully: |
využít základní fyzikální vztahy při řešení úloh z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
aplikovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti při odvozování pokročilých vztahů mezi fyzikálními veličinami |
měřit fyzikální veličiny popisující elektrické obvody a magnetická pole |
Competences - students are expected to possess the following competences before the course commences to finish it successfully: |
N/A |
N/A |
|
Learning outcomes
|
Knowledge - knowledge resulting from the course: |
formulovat fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
popsat procesy v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
zhodnotit praktické důsledky fyzikálních zákonů klíčových pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
Skills - skills resulting from the course: |
použít fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce pro popis procesů v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
navrhnout aplikaci různých typů výbojů s ohledem na použitý zdroj napětí a procesní parametry |
aplikovat uvedené koncepty v jiných oblastech kde se používají fyzikální technologie |
Competences - competences resulting from the course: |
N/A |
|
Assessment methods
|
Knowledge - knowledge achieved by taking this course are verified by the following means: |
Combined exam |
Skills - skills achieved by taking this course are verified by the following means: |
Combined exam |
Competences - competence achieved by taking this course are verified by the following means: |
Combined exam |
|
Teaching methods
|
Knowledge - the following training methods are used to achieve the required knowledge: |
Lecture |
Practicum |
Skills - the following training methods are used to achieve the required skills: |
Lecture |
Practicum |
Competences - the following training methods are used to achieve the required competences: |
Lecture |
Practicum |
|
|
|
|